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解決方案 | 應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的熱門傳感器(一)
發(fā)布時間:2022-07-26        瀏覽次數(shù):1940        返回列表
 半導(dǎo)體勻膠顯影機一般由動力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機中的作用~

1.2

檢測水滴/膠滴

光纖傳感器  PG1+ PT-30ML

 

 

  • 選用區(qū)域?qū)ι涔饫w,覆蓋面積廣,即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區(qū)域內(nèi),可被穩(wěn)定檢測
  • 功率大,光軸清晰明亮,可輕松調(diào)整光軸位置
  • 放大器搭載了超高速模式,微秒級響應(yīng)時間,可穩(wěn)定快速地進行檢測
  • SET按鍵調(diào)試,使用簡便輕松

 

 

2.2 

 

檢測晶片位置

激光傳感器  ELE-RM05N

 

 

  • 晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產(chǎn)生的光量值偏差很小,需要選擇回歸反射型傳感器可進行穩(wěn)定的測量,安裝反光板,減少了布線煩惱
  • 光斑小,可將傳感器裝在外部,穿過孔洞對內(nèi)部物料進行檢測,輕松實現(xiàn)識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況
  • 激光的指向性佳,光斑小,便于安裝

 

 

4.1 

 

控制憎水液位

液位傳感器  CE30-26NO

 

 

 

  • 當(dāng)槽管內(nèi)存在氣泡時,普通的光學(xué)傳感器很可能造成誤判
  • 產(chǎn)品防護等級IP67,防水防塵
  • 傳感器固定方式靈活,可任意輕松移動檢測位置

 

 

5.1 

 

匣盒載物臺的下限檢測

接近傳感器  ESL-T50NO

 

 

 

  • 超薄尺寸,厚度僅有4mm,任意狹小空間均可安裝
  • 采用對射檢測原理,穩(wěn)定可靠
  • 檢測距離達(dá)50cm,任意大小的設(shè)備場景均可使用

 

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