同時,受產(chǎn)品微型化的發(fā)展趨勢要求,晶圓的尺寸不斷縮小,缺陷就變得更為微小,給晶圓的生產(chǎn)過程產(chǎn)生了更大的挑戰(zhàn)。為了減少在后道封裝過程中的不良品出現(xiàn),在生產(chǎn)過程中對芯片進行缺陷檢查、尺寸測量等,成為提供優(yōu)質(zhì)芯片、提高產(chǎn)品良率的關(guān)鍵技術(shù)。
明治傳感器為各個細分場景打造了優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和解決方案,實現(xiàn)與產(chǎn)線、質(zhì)檢線的智能對接,使得晶圓制造廠實現(xiàn)智能質(zhì)檢,助力檢測效率和準確率實現(xiàn)躍升,涵蓋產(chǎn)品多至12種缺陷檢測,快速推進生產(chǎn)商實現(xiàn)智能化轉(zhuǎn)型!
▲缺陷定位算法體系
▲缺陷像素級分割算法體系
▲缺陷多分類算法體系
應(yīng)用場景
方案優(yōu)勢
? 高精度測量
配合高精度線掃相機,多次掃描大幅面晶圓,測量相應(yīng)尺寸。
?高精度算法分割能力
在細微缺陷的精細化分割上,可做到4像素缺陷檢出。
?高穩(wěn)定性視覺輪廓提取
對于工業(yè)場景中被檢對象整體和背景完全類似的缺陷檢測難題,可做到高穩(wěn)定性的視覺輪廓提取,檢測臟污、灰塵簇等難檢缺陷。
成功案例
? 某半導(dǎo)體巨頭公司藍寶石LED晶圓檢測項目,兼容不同晶圓規(guī)格的檢測,系統(tǒng)無縫切換。
? 華東某龍頭動態(tài)隨機存取存儲器(DRAM)設(shè)計制造一體化 ,企業(yè)硅片缺陷檢測項目,算法檢測準確率99.5%,大大縮短項目周期。
? 華東某半導(dǎo)體科技有限公司-硅片缺陷檢測項目,效率提高50%,實現(xiàn)全檢。
? 某全國電子信息百強企業(yè)半導(dǎo)體芯片計數(shù)項目,實現(xiàn)了對芯片的檢測和計數(shù),達到98.5%準確率。
明治傳感是工業(yè)光電技術(shù)和AI傳感專家,我們匯聚了一批業(yè)界資深的科學(xué)家和工程師,不僅設(shè)計高品質(zhì)傳感產(chǎn)品,更創(chuàng)造科技發(fā)展新未來;
凝聚先進的工藝和制程,以熱愛煥發(fā)科技智造的生命力,旨在建立一家在AI4.0時代,為讓用戶成為智慧工業(yè)和萬物互聯(lián)的行業(yè)領(lǐng)先者這一使命提供支持;
從精密定位到位移測量產(chǎn)品,從AI圖像識別到區(qū)域安全方案,超60個國家的16000家制造商、供應(yīng)商和集成商選擇了我們的產(chǎn)品以確保所生產(chǎn)的產(chǎn)品符合用戶的質(zhì)量要求;
我們以志奮領(lǐng)精神重新定義“中國制造”新高度,每一次的創(chuàng)新都在踐行感煥萬物的理想,每一次的應(yīng)用都是煥然新生的智造新體驗。
明治之選,智造之悅。
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