接觸式位移傳感器是一種測(cè)量設(shè)備或物體位置變化的傳感器，它通過直接接觸測(cè)量目標(biāo)并檢測(cè)由此產(chǎn)生的物理變化（如電阻、電容、電感或壓電效應(yīng)等）來測(cè)量位移。接觸式位移傳感器通常具有較高的測(cè)量精度和靈敏度，因?yàn)樗鼈冎苯优c被測(cè)物體接觸，能夠直接感知微小的位置變化。
工作原理
對(duì)于小位移的測(cè)量，通常采用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器等技術(shù)來檢測(cè)。這些傳感器各有特點(diǎn)，適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)景和測(cè)量要求。
差動(dòng)變壓器式
差動(dòng)變壓器是感應(yīng)式位移傳感器中應(yīng)用最廣的一種。它是一個(gè)其原邊有一個(gè)繞組，副邊有兩個(gè)按差動(dòng)方式連接的繞組的開口變壓器。變壓器開口上有一活動(dòng)鐵芯，該鐵芯產(chǎn)生位移時(shí)使磁路改變，從而使輸出差動(dòng)電壓隨之改變。其輸出電壓Es與鐵芯位移成線性關(guān)系且十分靈敏。
對(duì)于大位移的測(cè)量，則常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)。其中，光柵傳感器因其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)而得到日益廣泛的應(yīng)用。
CMOS光柵測(cè)量
它是一種通過光電效應(yīng)來測(cè)量物體位移的原理，具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)。它基于CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)技術(shù)，結(jié)合了光柵和光電二極管陣列。
CMOS光柵傳感器由一個(gè)微小的光柵圖案組成，通常是在芯片表面上制造的。光柵由一系列等間距的透明和不透明線條組成。當(dāng)光線通過光柵時(shí)，會(huì)發(fā)生衍射現(xiàn)象，形成干涉條紋。這些干涉條紋的間距與光柵線條的間距相對(duì)應(yīng)。光電二極管陣列位于光柵的下方，用于檢測(cè)經(jīng)過光柵的光強(qiáng)變化。每個(gè)光電二極管都可以測(cè)量特定位置的光強(qiáng)。當(dāng)物體位移時(shí)，光柵圖案也會(huì)相應(yīng)地移動(dòng)，導(dǎo)致干涉條紋的位置發(fā)生變化。通過比較不同位置上的光強(qiáng)，可以計(jì)算出物體的位移。
因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率的可達(dá)到納米級(jí)）、抗干擾能力強(qiáng)、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用
驅(qū)動(dòng)方式
接觸式位移傳感器的驅(qū)動(dòng)方式多樣，以下是幾種常見的驅(qū)動(dòng)方式及其特點(diǎn)：
1、回彈式（彈簧自復(fù)位）