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公司基本資料信息
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電子工業(yè)乃是我國經(jīng)濟現(xiàn)代化當中不可或缺的重要支撐力,而以集成電路為其代表的半導體芯片制造業(yè)而言,其是電子工業(yè)發(fā)展的基礎與核心。芯片性能好壞與工藝技術及設計的嚴格性、合理性及先進性息息相關,而芯片可靠性及成品率,則與加工制造環(huán)境的潔凈度及制作材料的純度相關,尤其是伴隨當今納米加工技術的不斷發(fā)展與廣泛應用,超凈環(huán)境及超純材料已然成為半導體工業(yè)進步與創(chuàng)新的關鍵。
潔凈廠房的標準
《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2013中制定:無塵室中空氣懸浮顆粒物濃度是可控的,其建造和運行均應降低室內(nèi)滯留、產(chǎn)生的塵粒數(shù)量,并且凈化區(qū)域溫濕度等相關參數(shù)都在可控范圍內(nèi)。由于工藝不同,需求的凈化等級和建造標準也不同,根據(jù)空氣中≥0.5μm/0.1μm的顆粒數(shù)對潔凈室分為:十級、百級、千級、萬級、十萬等級別。
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一般來說國內(nèi)現(xiàn)行的標準有:GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等,按照這些要求進行特定顆粒的測量和計算,以對潔凈室和潔凈區(qū)域的清潔度水平進行分級。根據(jù)生產(chǎn)工藝、機械設備的實際需求合理選擇最佳的凈化級別建造潔凈室,在達到需求的同時降低建造成本,資源能耗是凈化設計的基本目標。
凈化空調(diào)自控系統(tǒng)
半導體廠房凈化空調(diào)自控系統(tǒng)是電子廠房建設的重要組成部分,廠房各類生產(chǎn)工藝的正常運行都依賴于一個高品質(zhì)的潔凈環(huán)境。能迪科技canlead®凈化空調(diào)自控系統(tǒng)是一套智能化中央空調(diào)自控系統(tǒng)(PLC)、通過對于車間的溫度、濕度、壓力等實行自動控制,使其穩(wěn)定高效運行,從而達到潔凈車間的設計要求。
凈化車間濕度和壓力的控制
凈化車間濕度和壓力主要取決于新風機組,新風機組采用PLC控制,PLC根據(jù)室外空氣溫度將整個空氣處理過程分為三個區(qū)域:當室外空氣含濕量是9.72g/kg干空氣時,空調(diào)機組冷盤管對空氣進行除濕,再根據(jù)冷卻后的溫度調(diào)整電動水閥的開度保證出風露點值穩(wěn)定;在室外氣體的含濕量小于9.72g/kg,并且濕球溫度大于9.53℃時,對空氣進行冷卻加濕,通過出風露點溫度值調(diào)整制冷盤管電動水閥的開度,由出風含濕量控制加濕器的加濕量;當室外空氣濕度小于9.72g/kg及濕球溫度小于9.53℃時,對空氣加熱并加濕,通過出風露點溫度自動調(diào)整加熱盤管電動閥的開度,同時PLC根據(jù)出風空氣含濕量值,控制加濕器加濕量。具體控制參數(shù)還要根據(jù)各個實例、工藝需求再做適當調(diào)整,盡可能找到既滿足每個工藝要求又是最節(jié)能的控制點。
新風機組壓差及加濕器控制
根據(jù)送風主管壓力信號,通過變頻器調(diào)節(jié)風機轉速,保證送風主管靜壓;室內(nèi)各個區(qū)域需求的壓差值通過調(diào)整對應新風支管電動風閥實現(xiàn)。
車間溫度控制
車間溫度主要由干盤管承擔,PLC根據(jù)潔凈室內(nèi)各區(qū)域溫度傳感器的平均值,調(diào)節(jié)不同區(qū)域干盤管電動閥的開度,保證房間該區(qū)域溫度的恒定值。自動控制在滿足工藝需求的同時盡可能的適時調(diào)整降低能耗。
推進中國半導體材料國產(chǎn)化
在國家鼓勵半導體材料國產(chǎn)化的政策導向下,本土半導體材料廠商不斷提升半導體產(chǎn)品技術水平和研發(fā)能力,能迪科技canlead®凈化空調(diào)自控系統(tǒng)將成為半導體行業(yè)飛速發(fā)展的助推劑,逐漸打破了國外半導體廠商的壟斷格局,推進中國半導體材料國產(chǎn)化進程。
中國智能化網(wǎng)(zgznh®)--引領工業(yè)智能化產(chǎn)業(yè)發(fā)展 共享智能化+優(yōu)質(zhì)平臺
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